该研究成果采用可扩大投产的转动舟法液相外延工艺，并以提高Ｐ型层外延生长速度、衬底回熔、二步退火等有效措施，提高了磷化镓液相外延红色发光材料的发光效率。对已制成的发光二极管测试表明，１０ｍＡ驱动电流时的总光通量，达到６～１５ｍｌｍ，正向压降≤２．０Ｖ。未封装器件１０ｍＡ下，法向光强平均可达０．８４～０．９９ｍｃｄ优于１９８７年日本信越半导体公司商品的典型值（最小值为０．５ｍｃｄ，典型值为０．７ｍｃｄ）。目前，我国每年生产半导体发光器件１０亿只，产量占国际第三位，且仍以每年２０％～３０％的速度增长。由于该成果解决了材料质量、外延工艺问题，如能进一步进行中试规模研究，每年将可减少进口价值１０００万美元的发光二极管芯片，其中红色磷化镓发光材料制芯片占６０％以上，经济效益将很可观。
复旦大学
