用于生化反应探测的立体微流控芯片量热计及制备方法

本发明提供一种用于生化反应探测的立体微流控芯片量热计及制备方法，包括聚酰亚胺基底，以及设于聚酰亚胺基底上的碲化铋N型半导体柱、碲化锑P型半导体柱、热电堆表面露出引线端、底层Au连接电极、顶层Au连接电极、Ni顶层保护电极、聚酰亚胺保护层、顶层PDMS微流道、底层PDMS微流道。当从外部注入生物或化学液体在量热计的顶层PDMS微流道，并在底层PDMS微流道中注入室温纯水时，由于生物化学液体产生的热反应，两个微流道之间会形成温度差，使得热电堆上表面成为热节点，而热电堆下表面成为冷节点，根据塞贝克效应会有相应的电势输出，再根据电势即获得其热反应情况。本发明具有非常高的灵敏度和测量精度。