一种基于纳米梁开关阵列的背向出射激光雷达发射芯片,包括纳米梁开关路由网络、金属反射层和作为傅里叶变换透镜的超构表面透镜;纳米梁开关路由网络制作在所述芯片的正面,输入光信号进入纳米梁开关路由网络的纳米梁开关支路后,由特定的纳米梁开关单元路由至对应的纳米梁发射支路,由特定的纳米梁发射单元向自由空间发射,正面金属反射层将向上辐射的光波向下反射,最终所有向下发射的光波通过背面超构表面透镜向指定方向准直发射。本发明可以实现定向传输,同时实现开关选通和垂直发射的功能,硅基超构表面透镜可以作为傅里叶变换透镜实现高精度、大范围的波束扫描,为大规模制造硅基集成激光雷达发射芯片提供一种优越的技术路径。
