电极可重复使用的PCR芯片

一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片，由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分，并通过导热硅脂薄层贴合而成，其中：腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板，电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电极组合和下基板。该PCR芯片至少包含一个反应腔室，可用于不同温控条件下多种基因的并行扩增。本发明PCR芯片的电极芯片使用后可与腔室芯片分离并能重复使用，且采用玻璃基板、聚合物腔室并利用MEMS微加工技术批量制造，PCR芯片的成本大为降低。