一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统

本发明公开了一种探针和引脚自动对准的方法，通过六个步骤实现了测试探针和引脚的自动对准。本发明还公开了一种探针和引脚自动对准的探针台测试系统，包括可移动的探针位移装置、安装在探针位移装置上的探针架和探针、可移动的且用于固定待测器件及晶圆的夹具、样品位移装置、可对所有装置进行程序设置的控制器、机械支撑装置、信号传输装置和电源装置。本发明的一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统的投入成本低、通用性好、能在更短的时间内，在不损害待测器件及晶圆的情况下，更高效率地对其进行测试。广泛应用于复杂高速器件的精密电气测量，能够确保测试信号质量及测试结果的可靠性，并缩减测试时间和降低器件制造工艺的成本。