一种扫描隧道显微镜及其人工智能辅助控制方法

本发明涉及一种扫描隧道显微镜及其人工智能辅助控制方法，所述描隧道显微镜包括样品台、扫描主体装置和减震框架；所述样品台包括从下至上依序设置的第一平台、十字滑台和载物平台；所述扫描主体装置包括从下至上依序设置的第二平台、第三平台和顶部平台，以及扫描头主体和驱动装置，样品台和扫描主体装置整体放置在减震框架上。本发明扫描隧道显微镜具有成本较低、搭建容易、所占空间小的特点，并且其人工智能辅助控制方法，利用人工智能方实现自动化控制，大大降低了设备操作难度，有利于高通量扫描的完成。