压差式气体微流量传感器及其制作方法

本发明涉及一种压差式气体微流量传感器，包括一单晶硅基片及集成于该单晶硅基片同一面上的一个气体微沟道及两个压力传感器；气体微沟道沿<211>晶向埋设于单晶硅基片内，由文丘里沟道段和连接在文丘里沟道段两端的匀速沟道段组成，文丘里沟道段由喉道和分别位于喉道两端的收缩段和扩散段组成，气体微沟道的两端设有气体出/入口；两个压力传感器分别通过取压通道与匀速沟道段和喉道连接。与现有技术相比，本发明将传统宏观的文丘里管引入到硅基MEMS微流量传感器领域，实现了微流量气体的快速、准确的检测和芯片小尺寸、低成本和便捷式封装等特点，具有广泛应用前景。