一种压阻式与电容式相融合的三维柔性触觉传感器

本发明公开了一种压阻式与电容式相融合的三维柔性触觉传感器，属于传感器技术领。本传感器由若干个压阻传感单元、若干个电容传感单元、包覆各传感单元的柔性绝缘层以及连接各传感单元的细导线组成；压阻传感单元由上下两层电极片以及中间一层压阻材料组成，用于测量法向力；电容传感单元由上下两层电极片以及中间一层介电层组成，用于测量切向力；柔性三维触觉传感器可同时测量法向力和切向力，结构简单，厚度薄，柔性好，可很好地贴附在人手皮肤表面且不影响手部动作，测量灵敏度高，可实现点阵功能，易于采集大量触觉数据以便分析人手触觉特征。本发明柔性三维触觉传感器成本低，适合批量生产，可应用于机器人、医疗、生物力学等领域。