一种基于3D打印技术的盘状探头型磁场传感器及其制作方法

本发明涉及一种基于3D打印技术的盘状探头型磁场传感器及其制作方法，属于微弱磁场传感器领域。本发明采用双光子飞秒激光直写技术，根据材料折射率和盘状波导结构的几何形状，建立3D打印模型，平面盘状波导结构打印完成后固定玻璃毛细管中，控制微流控泵将磁流体材料通过空芯光纤注入到玻璃毛细管中，待磁流体材料充满玻璃毛细管后，抽离玻璃毛细管，用玻璃板将玻璃毛细管的磁流体注入端封住，即可形成封装完整的盘状微结构探头型磁场传感器。本发明所提出的盘状微结构探头型磁场传感器及其制作方法与现有的磁场传感器相比，具有易于操作、速度快、精度高、成功率高等优点，在磁场测量领域具有良好的应用前景。