一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器

本发明涉及一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器，包括基座、与基座固定连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端固定连接的质量块、以及用于测量悬臂梁位移的测量机构，测量机构包括两端分别与基座和质量块连接的周期伸缩式可变衍射光栅、以及固定于基座上的激光器和光电探测器；激光器和光电探测器分别置于周期伸缩式可变衍射光栅的两侧。与现有技术相比，本发明采用周期伸缩式可变衍射光栅测量物体加速度，利用光学光栅的误差平均效应的特点，具有测量精度高、响应速度快、测量高效、更容易测量精密振动等优点。