本发明公开了一种提高薄膜态材料非线性光学系数测量精度的方法,通过选用厚度超薄、非线性光学系数超低的材料作为薄膜元件的基底,并应用双臂Z扫描技术同时测量包含基底的薄膜器件和裸基底的非线性信号,由于基底的非线性响应很小甚至可以忽略,薄膜态材料的非线性信号在薄膜与基底的总信号中占有主导地位,由此提高Z扫描技术在薄膜态材料非线性光学系数测量过程中的测量精度。
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