基于MIM吸收器的长波红外光热电探测器及其制备方法

本发明提供一种基于MIM吸收器的长波红外光热电探测器及其制备方法，探测器包括：热电转换层；上电极及下电极，分别设置于热电转换层的上下两个表面；MIM吸收器设置于上电极的表面，用于吸收光子并转换为热能，MIM吸收器是依次包括金属反射层、介质层及金属阵列层，所述金属反射层设置于所述上电极的表面。本发明借助MIM吸收器实现光子100％完美吸收，利用金属反射层将吸收的光子局限在热电转换层上表面，从而使热电转换层上下表面产生温度差，减小两个电极间的通道长度，从而减小响应时间；通过金属阵列层中金属模块的尺寸大小及阵列周期来调控吸收带宽及吸收峰波长；本发明材料成本低廉，工艺简单，也可实现大面积制备，易于本发明的推广。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
武爱民 | 黄祎 | 李寒月