一种耐腐蚀磁性FeCoNiCuAl高熵合金薄膜材料及其制备工艺

本发明涉及一种耐腐蚀磁性FeCoNiCuAl高熵合金薄膜材料及其制备工艺，属于多主元合金薄膜材料领域。薄膜材料的主要成分包括如下原子百分比组成：Fe：15.0‑25.0％，Co：15.0～25.0％，Ni：15.0～25.0％，Cu:15.0～25.0％，Al:15.0～25.0％。制备步骤包括超声清洗基片、真空室抽真空后充氩气、预溅射和溅射四部分。与现有技术相比，本发明所制得的薄膜表面光滑平整，结构处于无序状态，兼具磁性能与耐蚀性能。本发明的制备方法可行性强，重复度高，易于应用和推广。
上海大学
徐晖 | 李斌