极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷检测方法

一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷检测方法，包括建模和缺陷检测两阶段，在建模阶段，首先具有相同缺陷顶部形貌不同缺陷底部形貌的含多层膜相位型缺陷空白掩模的空间像。然后采用傅里叶叠层成像技术重建空间像的复振幅。最后采用卷积神经网络与多层感知器建立以空间像信息为输入，缺陷底部形貌参数为输出的缺陷检测模型。在缺陷检测阶段，首先采用原子力显微镜测量多层膜相位型缺陷表面形貌，空间像测量设备获取含缺陷空白掩模空间像，然后对含缺陷空白掩模空间像进行复振幅重建。最后采用卷积神经网络模型完成缺陷底部半高全宽检测，采用多层感知器模型完成缺陷底部高度检测。本发明可准确检测极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷形貌。
中国科学院上海光学精密机械研究所
成维 | 李思坤 | 王向朝 | 张子南