一种万向振动阈值传感器及其3D打印制备方法

本发明提供了一种万向振动阈值传感器及其3D打印制备方法，其中：半球形的可动质量块电极分别与蛇形弹簧一端连接，弹簧另一端与弹簧支撑柱相连接并将可动质量块电极悬空于固定电极之上，弹簧支撑柱设置于绝缘衬底边缘并均匀分布在可动质量块电极周围，固定电极固定在绝缘衬底上，固定电极的半球状凹陷与可动质量块电极之间有一定距离，固定电极与可动质量块电极之间的电极间隙呈半球形沟道，外界振动达到阈值后，两电极之间被接通，并实现多个方向的敏感，器件除绝缘衬底外全部由3D打印的导电金属结构组成。此发明实现了振动阈值传感器对‑Z方向和半球面内所有方向上的加速度冲击反应敏感。
上海交通大学
杨卓青 | 王阳 | 陈文国 | 丁桂甫 | 徐秋