一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法

本发明提供了一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法，所述传感器包括桥接式纳米测试敏感单元、微流道取样单元、制热取样单元和测试室单元；所述传感器制备方法将纳米材料分散于聚合物体系形成复合物薄膜，将纳米材料通过薄膜微结构引入微加工体系，之后辅助常规的微加工图形化、可控刻蚀、溅射和微电铸等工艺制备桥接式纳米测试敏感单元，同时使用微加工工艺在桥接式纳米测试敏感单元外围设计微流道取样单元、制热取样单元以及测试室单元，形成桥接式纳电极集成检测微系统——自加热微流道桥接式纳电极传感器。该系统同时具备气态液态样品取样和检测功能，实现了桥接式纳电极传感器与微型化系统的集成制造。
上海交通大学
王艳 | 孙斌 | 丁桂甫