一种自供电声波传感器

本发明涉及一种自供电声波传感器，包括：多孔谐振腔，所述多孔谐振腔为含有矩形开口的腔体且矩形开口平行对应的第一表面分布多个孔洞；具有中空结构的固定基板，用于密封矩形开口使得多孔谐振腔形成密闭空腔；设置在固定基板的中空结构一侧且沿矩形开口至第一表面方向上依次分布的底电极层、具有中空结构的间隔层、介电材料薄膜以及由塑料薄膜和导电层构成的导电振动薄膜；所述介电材料薄膜分布在远离导电层的塑料薄膜的一侧。
中国科学院上海硅酸盐研究所
孙静 | 朱国建 | 王冉冉