应变传感器及其形成方法、应变传感器阵列及其形成方法

一种应变传感器及其形成方法、一种应变传感器阵列及其形成方法，其中应变传感器包括：弹性衬底；位于部分弹性衬底表面的敏感薄膜；位于所述弹性衬底表面与所述敏感薄膜两端分别连接的电极；所述电极与弹性衬底之间形成有塑化层。所述应变传感器的性能提高。
上海交通大学
郭小军 | 陈苏杰 | 李明 | 黄钰坤