一种电液伺服阀阀套壳体方孔轮廓的精密测量方法和装置

本发明涉及一种电液伺服阀阀套壳体方孔轮廓的精密测量方法和装置，方法为：收集反映电液伺服阀阀套壳体方孔轮廓的集中光源后，对其进行分析得到电液伺服阀阀套壳体方孔的测量轮廓；装置包括方孔测量探头、测量光源、光信号传感器、转换器I、转换器II和处理器；转换器I用于将测量光源在电液伺服阀阀套壳体内部进行反射和折射形成平行光束照射到电液伺服阀阀套壳体方孔处；转换器II用于将电液伺服阀阀套壳体方孔反射的光线在电液伺服阀阀套壳体内部进行折射和反射集中在一起，形成集中光源后发送至光信号传感器。本发明的装置可实现对内腔面方孔轮廓的高精度测量；本发明的方法可实现对电液伺服阀阀套壳体方孔轮廓的在线测量和实时反馈。
上海交通大学 | 上海航天控制技术研究所
陈明 | 马铮 | 蔡晓江 | 安庆龙 | 明伟伟 | 周如好