一种钛硅合金靶材的低成本制备方法

本发明提供了一种钛硅合金靶材的低成本制备方法，包括以下步骤：A、混料：将海绵钛与结晶硅按比例均匀混合；B、电极压制：将混合好的原料压制成电极棒，再将电极棒进行加热；C、一次自耗熔炼：在保护性气氛下，将加热后的电极棒焊接，然后进行第一次真空自耗熔炼，得到钛硅合金一次锭；D、焊接：将钛硅合金一次锭的两端平头后，利用真空电子束焊接技术将钛硅合金一次锭组合后焊接，得电极料；E、二次自耗熔炼：将电极料进行第二次真空自耗熔炼，得到钛硅合金二次锭；F、将钛硅合金二次锭进行加工即得最终的钛硅靶材。本发明提供的方法制备的钛硅合金靶材具有组织致密、均匀细小，原材料出品率高，成本低，适于工程化规模生产。
上海交通大学
毛建伟 | 吕维洁 | 韩远飞 | 黄光法