高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术，已推广应用于柔性显示屏的开发，以及高分辨医用平板探测器研发。由上海大学联合上海微电子装备（集团）股份有限公司，协同研发出 200*200mm型高精细平板显示用光刻机，解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题，实现了曝光精度2um、套刻精度±0.5um的技术能力，为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础；由上海大学联合上海奕瑞光电子科技股份有限公司，协同研发出基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器，掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。上述技术分别于2016年、2020年获得上海市科学技术进步一等奖奖励。
上海大学
尹东光
