光学相控阵芯片的校正系统及校正方法

本发明公开了一种光学相控阵芯片的校正系统和校正方法。所述校正系统包括载物台、红外显微观察模块、阵列化驱动控制模块、二维光束扫描模块、光电转换模块以及上位机，利用光束位置搜索与相控阵相位误差补偿。校正系统基于光路可逆原理，从当前需要校正的角度发射激光平面波反向输入到光学相控阵芯片中，借助上述软件方案将光学相控阵芯片的总线波导中反向输出的功率最大化，完成在目标角度的电压校正。本发明公开的系统自动化程度高、校正速度快、兼容性强，对于光学相控阵芯片的批量化测试与校正有重要意义。