微流控相变汽泡微泵阀及其方法

本发明提供了一种微流控相变汽泡微泵阀，包括微通道结构、储液微穴、加热装置、底层芯片、绝缘层以及顶层芯片；所述微通道结构和所述储液微穴设置在顶层芯片上；所述储液微穴连接在所述微通道结构的两侧；所述储液微穴用于充装相变液体；所述加热装置设置在所述底层芯片上，所述加热装置用于对储液微穴内充装的相变液体进行加热；所述绝缘层设置在所述底层芯片和顶层芯片之间。本发明还提供相应的使用方法和相变液体的充注方法。本发明具有微泵和微阀双重功能，通过调节加热装置供给加热功率实现微泵和微阀功能转变，可缩减微流控加工工艺；作为微泵使用时，可实现微通道内流体间歇性输运；作为微阀使用时，可实现微通道内流体流量精确调节。