硅基混合集成激光雷达芯片系统

一种硅基混合集成激光雷达芯片系统，按照光路顺序，其发射端依次包括：可调谐窄线宽激光源、氮化硅分束器、硅基移相器阵列、氮化硅单向发射天线阵列。按照光路可逆原理，其接收端依次包括：氮化硅单向接收天线阵列、氮化硅分束器、硅基相干接收模块。还包备份系统及电域控制处理模块。其中，硅平台与氮化硅平台上各模块借助硅/氮化硅渐逝波耦合器实现多层单片集成；可调谐激光源模块中的增益芯片与氮化硅波导通过水平耦合进行混合集成。本发明通过多平台、多领域混合集成，以相控阵方式实现了自由空间激光信号高速灵活的波束成形、旋转及方向性接收。该发明不含活动器件、集成密度高、CMOS兼容性好、规模化量产成本低，具有极高的实用价值。