离子敏感薄膜晶体管及生物传感芯片

本发明提供一种离子敏感薄膜晶体管及生物传感芯片，晶体管由下而上依次包括：衬底；第一栅电极；第一栅绝缘层；半导体层；第二栅绝缘层；源漏极，第二栅电极；第二栅极接触电极；第一栅电极、第一栅绝缘层、源漏电极和半导体层构成底栅晶体管，作为开关器件；源漏电极、半导体层、第二栅绝缘层、第二栅电极和第二栅极接触电极构成顶栅晶体管，作为离子敏感元件，第二栅绝缘层采用刻蚀阻挡层；顶栅晶体管和底栅晶体管构成双栅结构的离子敏感薄膜晶体管。本发明能够提高顶栅/底栅电容耦合比，显著提高离子敏感场效应晶体管对离子响应的灵敏度，实现对低浓度目标核酸序列的快速分析。