薄膜晶体管型生化传感微阵列芯片及其制备方法

本发明提供的薄膜晶体管型生化传感微阵列芯片包括：衬底；像素阵列，包括多个参比电极和多个像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管和位于所述薄膜晶体管上方的敏感电极，所述薄膜晶体管的底栅电极电连接所述敏感电极，所述敏感电极表面具有修饰层，多个所述参比电极与多行所述像素单元一一对应；多条行选信号线，分别与多个所述参比电极电连接；多条列读取信号线；多条公共电极线；多个隔离墙，位于所述封装层上方，每个所述隔离墙包围一隔离区域，所述隔离区域连续暴露一行所述像素单元中所有的所述敏感电极和一个所述参比电极。本发明有利于提高芯片集成度，并减少串扰和功耗。