Ag/ITO/氧化锌基复合透明电极的发光二极管及其制备方法

本发明涉及一种Ag/ITO/氧化锌基复合透明电极发光二极管及其制作工艺。本发光二极管包括：在蓝宝石衬底上依次有缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓和Ag/ITO/氧化锌基复合电流扩展层、并有n型金属电极连接n型氮化镓，p型金属电极连接Ag/ITO/氧化锌复合透明电流扩展层。其制作方法是：缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓是在MOCVD中依次生长完毕；Ag/ITO/氧化锌复合透明电流扩展层分别依次是利用真空蒸镀的方法将几纳米厚的Ag薄膜蒸镀到p型GaN表面，再用电子束蒸镀的方法将ITO透明薄膜蒸镀在Ag薄膜表面，再利用磁控溅射的方法将氧化锌透明薄膜溅射在ITO薄膜表面，形成Ag/ITO/氧化锌复合透明电流扩展层；利用干法刻蚀将n型氮化镓暴露出来，退火处理后利用热蒸发或电子束蒸发等薄膜沉积方法生长金属电极。Ag/ITO/氧化锌复合透明电极极大地改善了p型氮化镓与透明电极层之间的欧姆接触，提高了LED芯片的光提取效率和可靠性。