一种可控单模回音壁模式的莱洛三角形微腔及其制备方法

本发明公开了一种可控单模回音壁模式的莱洛三角形微腔及其制备方法。本回音壁式微腔包括基板、两个矩形锥形光纤透镜、可调谐激光器和示波器。本发明采用无掩模紫外光刻技术制作，聚合物波导两端使用锥形光纤透镜进行空间光耦合，通过调节三维调节架实现最佳耦合距离。基于莱洛三角形结构的微盘腔支持光以回音壁模式在弧形边界传播，并在微小反射面经历全反射本。本发明通过控制微小反射面的长度，实现微盘腔中仅支持基模传输。