一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统

本发明提供了一种湿度传感器，具有这样的特征，包括：机架；移动单元，设置在机架上，包含螺旋测微器以及刻度板；称重台，设置在移动单元上，在移动单元的带动下进行上下移动；光栅，设置在称重台上；以及棱镜单元，包括设置在机架上的夹持组件以及由该夹持组件夹持的棱镜，用于接收太赫兹光，并与光栅进行耦合产生共振峰，其中，棱镜的折射率大于空气的折射率。根据本发明所涉及的湿度传感器，利用水汽在太赫兹波段的吸收峰刚好与光栅在太赫兹衰减全反射作用下产生的表面等离子激元的共振峰重叠，可以实时、快速测量空气中水汽含量，大大提高了灵敏度，且分辨率较高。除此之外，该湿度传感器的结构简单，取材广泛且易于加工。