一种基于集成有源放大器芯片的谐振传感器

本发明公开一种基于集成有源放大器芯片的谐振传感器。该传感器包括：第一金属介质层、仿空气介质层、第二金属介质层和激励层，所述激励层上依次覆盖所述第二金属介质层、仿空气介质层和第一金属介质层。所述第一金属介质层包括有源放大器芯片。采用本发明能够提高传感器的分辨率和灵敏度。