基于电涡流与压电原理耦合的三维力柔性触觉传感器

本发明涉及一种基于电涡流与压电原理耦合的三维力柔性触觉传感器，包括中空结构的四棱台状的本体及位于本体内的单个激励线圈；四棱台的侧面由PVDF薄膜合围而成；四棱台的顶面由金属薄层构成；四棱台的底面由柔性基底构成；所述激励线圈为平面螺旋结构且位于金属薄层的正下方；所述激励线圈输入正弦交变电流，输出阻抗信号。本发明利用电涡流式触觉传感的动态响应范围大以及压电式触觉传感高灵敏度的优点，通过微加工技术进行加工制造，实现结构简单、尺寸轻小、检测接触力的目的，可在仿生机械手、人工假肢等领域应用。