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丙酮敏感材料和敏感元件及其制备方法

本发明涉及一种丙酮敏感材料和敏感元件及其制备方法,属于半导体材料领域。本发明公开了一种气敏材料,所述气敏材料以三维WO3·H2O纳米空心球作为主体,所述气敏材料采用PtCu纳米晶作为增敏剂,所述气敏材料为三维WO3·H2O纳米空心球负载PtCu纳米晶形成的复合气敏材料。通过该气敏材料制备的气敏元件对丙酮气体具有超高灵敏度,对干扰气体选择性好、循环稳定性好,检测丙酮气体的浓度为0.01~100ppm。

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