一种高频超声换能器用1-3复合压电材料及其制备方法

本发明涉及一种压电材料，具体涉及一种高频超声换能器用1‑3复合压电材料及其制备方法，包括如下步骤：S1：通过刻蚀技术制备含有微孔的软模板；S2：利用压电陶瓷粉体填充步骤S1得到的软模板中的微孔；S3：对步骤S2得到的产物进行高温烧结以除去软模板，得到压电陶瓷柱阵列；S4：利用高分子聚合物对步骤S3得到的压电陶瓷柱阵列进行填充固化，得到半成品；S5：对步骤S4得到的半成品进行研磨减薄、镀电极并极化，得到1‑3复合压电材料。与现有技术相比，本发明实现了制备过程的简化和高效化，同时制备得到的1‑3复合压电材料在高频超声范围(30‑50MHz)内具有优异的压电性能。