亚微米约瑟夫森隧道结

本实用新型提供一种亚微米约瑟夫森隧道结，包括：衬底；约瑟夫森结，位于衬底的上表面，约瑟夫森结包括由下至上依次叠置的底电极、势垒层以及顶电极，顶电极包括第一亚微米线条及第二亚微米线条，第二亚微米线条位于第一亚微米线条上方，且与第一亚微米线条呈十字交叉连接；第一绝缘层，覆盖势垒层及约瑟夫森结周围的衬底；第二绝缘层，覆盖于第一绝缘层的表面，第二绝缘层内形成有暴露出第一亚微米线条的第一开口，第二亚微米线条与第一开口内的第一亚微米线条相接触，并延伸至第二绝缘层的上表面。本实用新型不仅改善了边缘效应、降低了台阶过渡处漏电流的产生，还有利于提高约瑟夫森结的质量及可靠性。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
张雪 | 张国峰 | 王永良 | 荣亮亮 | 王镇 | 谢晓明