一种透明物体厚度激光测量方法和系统

本发明提供一种透明物体厚度激光测量方法和系统，包括：激光器发出的激光束经过发射透镜后形成一束聚焦激光束，聚焦激光束投向待测透明物体前表面，经待测透明物体前表面反射后的光束经滤光片和接收透镜后在线阵CMOS器件上形成前表面成像波形；经待测透明物体前表面折射后的光束达到待测透明物体后表面，经待测透明物体后表面反射和二次折射后在线阵CMOS器件上形成后表面成像波形；前表面成像波形的质心坐标与前表面的位置一一对应，根据激光三角测距原理可以实现透明物体厚度的测量。本发明不仅可同时得到透明物体的前表面位置和厚度值，而且能自动适应前表面的位置变化、得到归一化的准确厚度测量结果，具有更广泛的实用性和通用性。
上海交通大学
赵辉 | 陶卫 | 吕娜 | 刘凯媚 | 南卓江 | 崔斌 | 李智 | 冯宇 | 孙昊