双环形环绕圆形振动膜的压电MEMS扬声器及制备方法

本发明提供一种双环形环绕圆形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：由第一电极层、压电层、第二电极以及致动层构成振动膜层；振动膜层设有圆形振动膜、第一环形振动膜及第二环形振动膜；圆形振动膜位于振动膜层的中心位置，第一环形振动膜套设于圆形振动膜的外层；第二环形振动膜套设于第一环形振动膜的外层；圆形振动膜与第一环形振动膜之间设有第一沟槽间隙；第一环形振动膜与第二环形振动膜之间设有第二沟槽间隙；圆形振动膜、第一、第二环形振动膜通过支撑梁连接；基底的背面设有背部腔；背部腔与第一、第二沟槽间隙连通。本发明在一整体单元上分布三个不同共振频率的振动膜，完全覆盖人耳能听到的20‑20000Hz频率范围，达到商业应用的声压级。
上海交通大学
刘景全 | 王淇 | 阮涛