一种电磁式双反射镜MEMS光开关

本发明公开了一种电磁式双反射镜MEMS光开关，包括支撑框架，支撑框架的顶部和底部分别设有顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈，顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别设有顶部坡莫合金铁芯和底部坡莫合金铁芯，支撑框架的中部的内壁连接有左双悬臂梁和右双悬臂梁，左双悬臂梁和右双悬臂梁之间连接有具有磁性的弹性平台，弹性平台的顶部和底部的中心部位分别设有上光反射微镜和下光反射微镜，弹性平台上水平穿设有中央通孔。本发明的电磁式双反射镜MEMS光开关，通过底部平面驱动线圈和顶部平面驱动线圈产生的电磁力吸引弹性平台发生上下位移，从而完成三条光路切换，具有响应快速且稳定、集成能力好的特点。
上海工程技术大学
高翔 | 苗晓丹 | 邓伟