一种掺杂氧的中熵合金/金属玻璃纳米层状薄膜及其制备方法

本发明提出了一种掺杂氧的中熵合金/金属玻璃纳米层状薄膜及其制备方法，属于金属合金薄膜技术领域，采用直流磁控溅射法，在基底表面交替沉积软相中熵合金层与硬相金属玻璃层，两相呈交替的层状分布，调控两相的溅射功率与溅射时间，获得纳米层状薄膜。本发明操作简单，条件易于控制，重复性好，制得的薄膜界面清晰、厚度均匀、表面光滑平整，具有优异的力学性能，在高强度电子器件、耐磨以及抗腐蚀涂层等领域拥有广泛的应用前景。
上海大学
孙国栋 | 卞西磊 | 俞潇龙 | 易军 | 贾延东 | 王刚