适用于超声共振谱法测薄膜材料常数的试样的测试方法

本发明提供了一种适用于超声共振谱法测薄膜材料常数的试样及测试方法，包括基底和待测压电薄膜，压电薄膜生长在基底上。所述基底材料常数已知，基底中间腐蚀有至少一个腐蚀小孔，所述腐蚀小孔能够增加对C33、C44敏感的模态。所述腐蚀小孔形状不限，个数不限，在基底上分布的位置不限。将压电薄膜侧向下放置，被顶端共面的三个换能器顶起，所述三个换能器包括一个发射换能器和两个接收换能器，接收换能器置于基底挖孔的薄膜处，以测得更多振动模态。本发明通过在试样基底上腐蚀小孔，人为构建出很多与薄膜有关的振动模态，可用单一试样测得薄膜全套材料常数。
上海交通大学
韩韬 | 魏书柳 | 张巧珍