一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法

本发明提供一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：在基底上依次制备第一电极、压电层及第二电极；依次对第二电极、压电层及第一电极刻蚀，得到图形化的第二电极、压电层及第一电极，构成图形化的振动膜单元；图形化的振动膜单元为具有六个相同尺寸三角形；对基底进行刻蚀，使图形化的振动膜单元形成六个尺寸相同的沟槽间隙，得到器件；在器件的上表面沉积一层封装材料，使沟槽间隙封闭；对器件的下表面进行刻蚀，在图形化的振动膜单元的背面形成背部腔，且背部腔的外轮廓覆盖图形化的振动膜单元的外轮廓。本发明同时兼有封闭膜与不封闭式膜的压电MEMS扬声器的优点，既有较大的振动膜振动偏移位移，又不会产生声压级的泄露。
上海交通大学
刘景全 | 王淇