一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置及方法

本发明涉及一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置和方法，将物镜安装在物镜平移台上，物镜平移台可滑动连接一体化底座；白光照明光源用于照明，从而获取零件表面纹理信息，荧光激发光源发射本征光并照射到被测零件表面，从而激发荧光信号；通过移动物镜平移台逐层改变成像位置，分别提取被测零件的白光纹理图像以及荧光图像，对获得的白光纹理图像进行三维融合，得到被测荧光零件的表面纹理信息和白光深度图，以白光深度图中数据点的坐标位置信息为基础对稀疏的荧光图像进行重构和三维融合，获取三维的荧光检测图像，实现瑕疵检测。与现有技术相比，本发明具有成像分辨率高、体积小巧、能保障缺陷形貌的真实还原等优点。
上海交通大学
杨佳苗 | 李林 | 周卓君 | 沈阳