一种带防护层的X射线平板探测器

本实用新型公开了一种带防护层的X射线平板探测器，包括像素矩阵以及外围电路。像素矩阵由薄膜光电二极管和薄膜晶体管开关器件组成，其中薄膜晶体管开关器件上方设置有用于屏蔽X射线的防护层，防护层优选钨金属薄膜。本实用新型的有益效果：本实用新型将电子器件优化为带有防护层的器件，有效地降低了高能X射线对器件的影响，减少了器件的噪声干扰，并且提高了器件的使用寿命。
上海交通大学
杨志 | 刘一剑 | 曾敏 | 周志华 | 苏言杰 | 胡南滔 | 张亚非