用于飞秒激光加工的夹具及飞秒激光加工装置

本申请提供了一种用于飞秒激光加工的夹具及飞秒激光加工装置，涉及飞秒激光微加工技术领域。该夹具包括壳体、定位件和固定件。壳体具有内腔和相对的第一、第二端面，第一端面具有与内腔连通且孔壁体为弹性壁体的第一通孔。定位件安装于第二端面且具有沿第一至第二端面的方向贯穿定位件的定位孔。固定件设置于定位孔内并与定位孔的孔壁抵持，固定件为弹性件且具有沿第一至第二端面的方向贯穿固定件的固定孔。第一通孔、定位孔和固定孔同轴设置，第一通孔和定位孔用于共同夹持待夹持件，且待夹持件伸出定位件的远离第一端面的一端用于飞秒激光加工。本申请提供的夹具可以稳定夹持微型棒状待夹持件，且在飞秒激光加工过程中不易发生同心度偏移。
宜宾上交大新材料研究中心 | 上海交通大学
王瑞博 | 孙军浩 | 李铸国 | 冯珂 | 凌玮 | 刘长清 | 焦伟 | 罗蕾 | 黄玉玺 | 杨梦溪 | 程静