一种高通量薄膜晶体结构表征装置及方法

本发明提供了一种高通量薄膜晶体结构表征装置及方法，包括电子枪发射机构、面探测器、低温控制系统、样品台控制装置、样品台、真空系统；利用易聚焦的电子束作为探测源，通过聚焦元件的汇聚作用，可将电子束束斑直径缩小至微米量级，从而提高样品表面的空间分辨率；通过对电子束的偏转作用可以改变电子束的入射角，从而可以根据实际实验需求改变样品表面的空间分辨率；通过样品台移动机构可以实现样品台沿平面内的高精度可控移动，并通过逐一扫描各个样品完成高通量薄膜中所有样品的晶体结构表征，可以用于高通量薄膜晶体结构表征。
上海大学
吕文来 | 葛军饴 | 陈飞 | 冯振杰 | 张金仓