管靶制造装置和管靶制造方法

本申请涉及一种管靶制造装置和管靶制造方法，本申请的管靶制造装置包括：牵引模块、结晶模块和喷射模块，牵引模块包括芯轴、芯轴升降机构和成型平台；结晶模块包括固定结晶管和结晶管固定支架，固定结晶管套设于芯轴外；喷射模块包括坩埚和坩埚旋转机构，坩埚上设有至少一个喷嘴，坩埚为环状结构，套设于芯轴外；其中，喷嘴的喷射方向朝向成型平台，芯轴的外表面、固定结晶管的内表面以及成型平台形成用于成型的成型空间。本申请能够采用3D打印的方式令原材料从在旋转的坩埚喷射而出，在不旋转的成型平台上冷却凝固，改变了金属铸造模式和铸造设备，改善了制造的管靶质量，使得所制成的管靶成分均匀，晶粒细化，且消除了宏观偏析。
上海交通大学 | 昆山晶微新材料研究院有限公司
张佼 | 王玉杰 | 东青 | 孙宝德 | 姜海涛