集成化干涉型微位移光纤传感器及其标定装置和标定方法

本发明公开了一种集成化干涉型微位移光纤传感器及其标定装置和标定方法，集成化干涉型微位移光纤传感器包括光纤准直器、超小光纤镜头、光纤干涉仪模块、指示激光器、宽带激光器、数据采集卡和计算机；集成化干涉型微位移光纤传感器的标定装置，包括目标反射镜、固定平台、带螺纹的五维调整台；集成化干涉型微位移光纤传感器的标定方法，将超小光纤镜头的输出端正对目标反射镜，通过轴线移动带螺纹的五维调整台，得出输出干涉强度的电压与微位移的函数关系，即为集成化干涉型微位移光纤传感器的标定函数。根据本发明提供的集成化干涉型微位移光纤传感器及标定方法，可用于微小位移量的高精度、快速测量和标定。