一种管状波导光栅传感器及其制备方法

本发明提供了一种管状波导光栅传感器，包括：管状波导，具有出气口以及进气口，出气口与进气口分别设置在管状波导的两端的管壁上；双槽型光栅部，设置在管状波导的管壁上；密封件，设置在管状波导的两端，其中，双槽型光栅部包括第一双槽型光栅单元、第二双槽型光栅单元以及第三双槽型光栅单元，第一双槽型光栅单元设置在管状波导的靠近进气口的一端；第三双槽型光栅单元设置在管状波导的靠近出气口的一端；第二双槽型光栅单元设置在第一双槽型光栅单元与第二双槽型光栅单元之间。该管状波导可以在太赫兹波入射的情况下，实现多种气体的压强检测，另外，三个双槽型光栅单元的设置能够提高太赫兹波检测气体压强的灵敏度。