一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置及标定方法

本发明涉及一种MEMS微力‑力矩传感器的标定装置，其特征在于，包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力‑力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源；斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件；所述的待测MEMS微力‑力矩传感器为六轴传感器，包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱；所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上；所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比，本发明具有成本低，标定精度高等优点。