一种在板上制备光波导的方法

一种在板上制备光波导的方法，包括以下步骤：在基板上利用光波导胶制备基底层；利用所述基底层制备凹槽；在所述凹槽表面旋涂下包层光波导胶制备下包层凹槽；在所述下包层凹槽表面制备芯层；在所述芯层的表面制备上包层，最终制备得到光波导。本发明的光波导不受各种光刻、显影等工艺所产生粗糙度的影响，且操作简单，制备效率高。
上海大学
王廷云 | 庞拂飞 | 魏伟 | 卢晓 | 魏鹤鸣