适用于声表面波器件的填埋式电极结构

本发明提供了一种适用于声表面波器件的填埋式电极结构，包括：衬底、凹槽以及电极；所述凹槽设置于所述衬底的表面，所述电极设置于所述凹槽中。本发明提出的填埋式电极结构能够改善高温下金属薄膜电极的退化现象，从而增加电极在高温条件下的稳定工作时间；本发明提出的填埋式电极结构能够提升声表面波器件的反射系数和机电耦合系数，减小声表面波器件尺寸并增加器件带宽；对于应用于压力传感的声表面波器件，本发明提出的填埋式电极结构能够增大频率压力系数，提升压力敏感度。
上海交通大学
韩韬 | 柯汉